Описание

Анализатор TXRF-310е разработан для оценки загрязненности пластин методом рентгенофлуоресцентного анализа с полным внутренним отражением.

Может оценить загрязненность поверхности во всех функциональных процессах, включая стадии очистки, литографии, травления, озоления и т.д. TXRF-310е оценивает содержание элементов периодической таблицы Менделеева от ₁₆S до ₉₂U.

Имеет 2-х лучевую систему рентгеновского излучения и новую жидкостную безазотную систему детектирования.