Описание

Напыление тонких пленок – процесс, в котором незаменим контроллер IC6. Контроллер IC6 напыления тонких плёнок предоставляет очень полезные возможности, комбинируя проверенные эксплуатационные характеристики контроллеров INFICON напыления тонких плёнок с уникальными функциями, разработанными для максимально эффективного использования технологии напыления. В контроллере IC6 реализована система измерения частоты ModeLock, чтобы обеспечить стабильное измерение толщины плёнки и скорости напыления с высоким разрешением. Наш прибор обладает непревзойдённой другими подобными контроллерами разрешающей способностью по скорости 0,00433 А/с каждую 1/10 секунды. Высокая разрешающая способность и надёжность, а также возможность реализации до 50 процессов с 200 слоями в каждом дают ощутимые преимущества в оптических процессах, например при нанесении покрытий с высокой отражающей способностью, противоотражающих покрытий и полосовых фильтров. Ни один другой контроллер на основе кристалла кварца не обладает рабочими характеристиками, качеством и функциями, которые имеет контроллер IC6, обеспечивающий непревзойденную повторяемость процедуры измерения. Контроллер IC6 используется в OLED-приложениях и в оптические приложениях.

 

 

Высокая производительность

Прибор IC6 способен одновременно контролировать работу до 6 источников, независимо один от другого или в любой комбинации. Это упрощает конфигурацию системы и сокращает расходы, поскольку исключает потребность в дополнительных 2-3 контроллерах.
Компания INFICON также выпускает датчик на 12 кристаллах, который автоматически переключает кристаллы, не прерывая технологический процесс. Это позволяет осуществлять непрерывный мониторинг скорости напыления и увеличить период между продувкой оборудования. Для управления работой источника, мониторинга толщины плёнки и скорости напыления, а также регистрации данных, контроллер IC6 имеет 12 назначаемых аналоговых выводов, 6 в стандартном исполнении и 6 дополнительных (нет в стандартной комплектации). Помимо этого, возможности ввода-вывода реализуют 24 вывода реле, 28 вводов и 14 выводов с ТТЛ-логикой. Средства прибора для реализации логических функций и возможностей управления процессом включают 100 программируемых логических инструкций, 20 счётчиков и 20 таймеров. Кабель длиной 4 м в дополнительном комплекте генератора XIU позволяет использовать длинные кабели для датчика в вакууме для больших систем.
Чтобы обеспечить стабильный результат измерения толщины плёнки и скорости напыления с высоким разрешением, а также контроль при очень медленной скорости напыления, в контроллере IC6 реализовано усреднение скорости измерения. Это очень полезно для материалов с низкой плотностью, осаждаемых с очень медленной скоростью напыления (до 30 секунд при использовании стабильных источников для напыления легирующих примесей в OLED-приложениях с очень медленной скоростью).
Для более гибкой работы с программами процессов прибор IC6 способен контролировать до 50 процессов с 200 слоями в каждом. Процессы можно объединять, но количество слоёв не может превышать 10000.
Функция Auto Z контроллера помогает автоматически определять Z-фактор для органических материалов, поддерживать точность измерения скорости напыления и толщины плёнки в процессе осаждения многослойных или примесных материалов, исключая необходимость измерения акустического импеданса оператором. Функция Auto Z повышает точность измерения толщины плёнки в процессах напыления материала с неизвестным значением Z-фактора, при напылении двух или нескольких материалов или осаждении нескольких слоёв двух или большего числа материалов.
Все эти возможности облегчают измерение параметров осаждения материалов с низкой плотностью при медленных скоростях напыления и позволяют передавать результаты измерений центральному компьютеру для надёжного контроля процесса напыления.

 
Функция Auto Z значительно повышает точность измерения толщины плёнки, полученной путём напыления разных материалов в несколько слоёв.

 

Преимущества

• Технология INFICON ModeLock обеспечивает наиболее стабильный процесс измерения толщины плёнки и скорости напыления с самым высоким разрешением по сравнению с другими контроллерами, даже при очень низких скоростях напыления
• Функция Auto Z повышает точность измерения толщины плёнки путём автоматического определения Z-фактора (отношение акустических импедансов кварцевого кристалла и осажденного материала) в процессе напыления материала
• Один прибор IC6 способен одновременно контролировать работу до 6 источников, независимо один от другого или в любой комбинации. Это исключает потребность в дополнительных 2-3 контроллерах
• Цветной ЖК дисплей на основе технологии тонкоплёночных транзисторов (TFT) наглядно отображает параметры процесса напыления
• Измерение 10 Гц
• ±0,0035 Гц при измерении за 100 мс
• USB-устройство для хранения данных, моментальных снимков экрана, программы процесса напыления и регистрации данных
• Многофункциональный ввод-вывод обеспечивает гибкую интеграцию в простые или сложные системы (используя дополнительные вводы (до 28) и выводы (24 вывода реле и 14 ТТЛ-вывода), а также использование логических функций (100 логических инструкций)
• Способен контролировать до 50 процессов с 200 слоями в каждом, эти процессы можно объединять, но максимальное число слоёв 10000
• Суммирование толщины для нескольких источников
• Усреднение скорости измерения для материалов с низкой плотностью, очень медленной скоростью напыления (до 30 секунд при использовании стабильных источников для напыления легирующих примесей в OLED-приложениях с очень медленной скоростью)
• Отображение разрешающей способностью по скорости до 0,001 А/с
• Кабель длиной 4 м в дополнительном комплекте генератора XIU позволяет использовать длинные кабели для датчика в вакууме для больших систем
• Контроль операций, не связанных с напылением, позволяет осуществлять непрерывное управление источником в процессе выполнения операций с подложками в камере осаждения тонких плёнок
• 6 выводов ЦАП в стандартном исполнении, 6 дополнительных (нет в стандартной комплектации) выводов для управления источником, мониторинга скорости напыления и толщины плёнки
• Интерфейс для передачи данных по сети Ethernet (нет в стандартной комплектации)
• Соответствует положениям директивы (RoHS), ограничивающей содержание вредных веществ

 

 

Простая настройка процесса

Управление контроллером IC6 простое и интуитивно понятное благодаря цветному ЖК дисплею на основе технологии тонкоплёночных транзисторов (TFT) и системе меню. Информация отображается на ярком экране с высокой чёткостью для удобного просмотра. Многофункциональные кнопки помогают быстро осуществлять переходы в системе меню программы, упрощая процесс программирования.

 

Как работает технология MODELOCK

Проверенная система измерения INFICON ModeLock обеспечивает такую точность частотных данных кристалла, которая недоступна традиционным системам с «автогенератором». Новая технология исключает «перескок моды», т. е. неспособность поддерживать колебания кристалла с собственной частотой. Технология ModeLock непрерывно проверяет резонанс кристалла измерителя толщины на собственной частоте, исключая, таким образом, недостаток, присущий традиционному методу измерения.
Традиционные способы измерения используют контрольный кристалл кварца в качестве активного компонента контура генератора. Следовательно, этот кристалл контролирует контур генератора. Поэтому, поскольку электрические характеристики кристалла изменяются в процессе осаждения, контур генератора становится менее стабильным и может «перескочить» на другую резонансную частоту или совсем выйти из строя, что приведёт к неточному результату измерения толщины плёнки.
Технология ModeLock, отличающаяся более высокой эффективностью, точностью и скоростью работы от традиционного способа, непрерывно проверяет и анализирует фазово-частотную характеристику кристалла. Сам кристалл не является активным компонентом контура генератора. Система измерения ModeLock определяет и применяет точную частоту к кристаллу, предотвращая «перескок моды» или работу кристалла на частоте, отличающейся от собственной. Эта операция выполняется тысячи раз в секунду, чтобы определить резонансную частоту с точностью 0,0035 Гц/100 мс.

Технология измерения ModeLock компании INFICON обеспечивает значительно более длительный срок службы кристалла, как показано на этом графике для процесса напыления индия.

 

 

Технические характеристики

Характеристики измерения

 

Разрешающая способность (Å/с/измерение)1	0,00433
Макс. смещение частоты кристалла	1,5 МГц
Диапазон частоты кристалла и точность (при измерении за 100 мс)	6,0-4,5 МГц +/-0,0035 Гц
Погрешность измерения толщины2	0,5%
Частота измерения	10 Гц
Усреднение серии измерений	возможно усреднение за 0,1; 0,4; 1,0; 4,0; 10,0; 20,0 и 30,0 сек.

 

 

 

Особенности конструкции

 

Измерение несколькими датчиками	да (до 8 датчиков)
Автоматическое определение Z-фактора	Да
Автонастройка	Да
Совместное напыление	да (до 6 источников)

 

 

 

Управление данными и программа процесса

 

Программы для материалов	32
Число слоёв для одного процесса	200
Число процессов	50 (процессы можно объединять)
USB-карта памяти	Да
Регистрация данных	Да

 

 

 

Технические средства и особенности

 

Датчики3
Один	8
Два/CrystalTwo®	4/8 (с переключателем CrystalTwo)
CrystalSix®	8
Crystal 12®	8
Общий	8
Управление источниками
Число источников4	Не более 6
Управляющее напряжение	от 0 до ±10 В, регулируется
Дискретность вывода	15 бит во всём диапазоне (0-10 В)
Число позиций для тигля	64
Вводы/Выводы
Вводы	14 ЦАП, можно увеличить до 28 (нет в стандартной комплектации); совместимы с логикой ТТЛ/КМОП или замыкание на землю
Выводы	8 ЦАП, можно увеличить до 24 (нет в стандартной комплектации) задаваемых из программы однополюсных реле с номинальными характеристиками: среднеквадратичное действующее значение 30 В (пост. ток) или 30 В (перем. ток); пиковое значение 42 В и 2,5 А; 14 дополнительных ТТЛ-выводов
Вывод для устройства регистрации4	от 0 до +10 В, регулируется
Логические инструкции	100 полностью программируемых; до 5 операций; 5 событий в инструкции
Передача данных
Стандартная	RS232
Дополнительно	Ethernet

 

 

Отображение

 

Разрешение по толщине	1 A для диапазона 0-9,999 кА 10 A для диапазона 10,00-99,99 кА 100 A для диапазона 100,0-999,9 кА 1 кA для диапазона 1000-9999 кА
Разрешение по скорости	0,001 для диапазона 0-9,999 A/с, если временному параметру фильтра скорости задано значение 10 секунд или больше 0,01 для диапазона 0-99,99 А/с 0,1 для диапазона 100-999,9 А/с

 

 

Эксплуатация

 

Потребляемая мощность	100-230 В переменного тока ±15 % 50/60 Гц ±3 Гц
Рабочая температура	0-50 °С
Габаритные размеры, без опор (В х Ш х Г)	133 мм х 483 мм х 330 мм
Масса	10,5 кг

 

1: Плотность материала = 1,0; Z-фактор = 1,0; частота кристалла = 6 МГц; A/s/M = Å/с/измерение
2: Зависит от процесса; цифры соответствуют типичной точности
3: Максимальная конфигурация для каждого типа
4: Контроллер IC6 в стандартном исполнении имеет 6 выводов ЦАП, можно дополнительно добавить ещё 6. Каждый из 12 выводов можно настроить в качестве либо вывода управляющего напряжения источника, либо вывода для устройства регистрации. Однако одновременно можно контролировать не более 6 источников.

 

 

Информация для заказа

Для заказа Вам нужно составить код, вставив в формулу вместо букв a , b, c, d, e, f нужные цифры.

 

I

C

6

-

a

b

c

d

e

f

 

a	Базовая конфигурация 115 В, 50/60 Гц – 1 230 В, 50/60 Гц - 2
b	Измерительный модуль для датчиков (Каждый имеет 2 ввода для датчиков) Стандартный модуль - 1 2 стандартных модуля - 2 3 стандартных модуля - 3 4 стандартных модуля - 4
c	Дополнительный модуль для связи с ПК (стандарт RS232) Нет – 0 Ethernet - 1
d	Дополнительный модуль реле ввода-вывода (Базовый модуль имеет 8 выводов реле/14 ТТЛ-вводов) Нет – 1 8 выводов реле/14 ТТЛ-вводов - 2
e	Модуль ТТЛ-реле (нет в стандартной комплектации) Нет – 0 8 выводов реле/14 ТТЛ-вводов - 1
f	Модуль ЦАП (нет в стандартной комплектации) (Базовый модуль имеет 6 выводов ЦАП) Нет – 0 Дополнительные 6 выводов ЦАП -1

 

 

Дополнительные принадлежности и запасные части

Принадлежности для контроллера IC6

781 -132-G1	Измерительный модуль для датчиков	Подключаемый модуль способен взаимодействовать одновременно с двумя датчиками через электрические соединители на задней панели
781 -122-G1	Модуль реле ввода-вывода	Подключаемый модуль имеет 8 программируемых выводов реле и 14 программируемых ТТЛ-вводов
781 -122-G2	Модуль ТТЛ-реле	Подключаемый модуль имеет 8 программируемых выводов реле и 14 программируемых ТТЛ-выводов
781 -162-G1	Плата ЦАП (нет в стандартной комплектации)	Подключаемый модуль для контроллера IC6 процесса напыления, увеличивающий число выводов ЦАП для мониторинга скорости напыления и толщины плёнки
755-262-G1	Ручной пульт регулирования мощности	Ручной пульт позволяет дистанционно регулировать мощность в процессе напыления, когда контроллер в режиме управления вручную. Ручной пульт регулирования мощности подключается на передней панели блока управления. Используется с приборами IC6, XTC/3, IC/5, Cygnus.

 

 

Комплекты IC6 и XTC/3 XIU и соединительные кабели

В комплект XIU (генератор) входят все кабели, необходимые для соединений между контроллером и XIU, генератор XIU, а также кабель для соединения XIU и вакуумного ввода. Один комплект генератора XIU требуется для каждого датчика на основе кристалла кварца, подключённого к контроллеру. Примечание. При использовании датчика на двух кристаллах кварца с контроллером XTC/3 или IC6 требуется либо один комплект XIU и один переключатель CrystalTwo (номер 779-220-G1 или -G2 для заказа), либо два комплекта XIU.

Комплекты XIU (генератор) для IC6, XTC/3M и XTC/3S

 

781-611-G15	Комплект XIU с кабелем 4,6 м для использования с контроллером IC6 или XTC/3
781-611-G30	Комплект XIU с кабелем 9,1 м для использования с контроллером IC6 или XTC/3
781-611-G50	Комплект XIU с кабелем 15,3 м для использования с контроллером IC6 или XTC/3
781-611-G100	Комплект XIU с кабелем 30,5 м для использования с контроллером IC6 или XTC/3
781-612-G15	Комплект XIU 4 м с кабелем для XIU 4,6 м, кабелем 4 м для вакуума и кабелем (6 дюймов) с электрическими BNC-соединителями (между XIU и вакуумным вводом)
781-612-G30	Комплект XIU 4 м с кабелем для XIU 9,1 м, кабелем 4 м для вакуума и кабелем (6 дюймов) с электрическими BNC-соединителями (между XIU и вакуумным вводом)
781-612-G50	Комплект XIU 4 м с кабелем для XIU 15,3 м, кабелем 4 м для вакуума и кабелем (6 дюймов) с электрическими BNC-соединителями (между XIU и вакуумным вводом)
781 -612-G100	Комплект XIU 4 м с кабелем для XIU 30,5 м, кабелем 4 м для вакуума и кабелем (6 дюймов) с электрическими BNC-соединителями (между XIU и вакуумным вводом)
781-613-G15	Комплект XIU 4 м с кабелем для XIU 4,6 м, кабелем 3,5 м для вакуума и кабелем (20 дюймов) с электрическими BNC-соединителями (между XIU и вакуумным вводом)
781-613-G30	Комплект XIU 4 м с кабелем для XIU 9,1 м, кабелем 3,5 м для вакуума и кабелем (20 дюймов) с электрическими BNC-соединителями (между XIU и вакуумным вводом)
781-613-G50	Комплект XIU 4 м с кабелем для XIU 15,3 м, кабелем 3,5 м для вакуума и кабелем (20 дюймов) с электрическими BNC-соединителями (между XIU и вакуумным вводом)
781 -613-G100	Комплект XIU 4 м с кабелем для XIU 30,5 м, кабелем 3,5 м для вакуума и кабелем (20 дюймов) с электрическими BNC-соединителями (между XIU и вакуумным вводом)

 

 

Только XIU для IC6, XTC/3M и XTC/3S (без кабелей)

 

781-600-G1	IC6, XTC/3 XIU (генератор) для кабелей длиной 15-183 см между XIU и головкой датчика
781-600-G2	IC6, XTC/3 XIU (генератор) для кабелей длиной 3-4 м между XIU и головкой датчика

 

 

Соединительные кабели для IC6, XTC/3M и XTC/3SM

755-257-G6	Кабель 5,2 см для соединения XIU с вакуумным вводом
600-1261-P15	Кабель 4,6 м для подключения XIU к контроллеру IC6 или XTC/3
600-1261-P30	Кабель 9,1 м для подключения XIU к контроллеру IC6 или XTC/3
600-1261-P50	Кабель 15,3 м для подключения XIU к контроллеру IC6 или XTC/3
600-1261-P100	Кабель 30,5 м для подключения XIU к контроллеру IC6 или XTC/3